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根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和ffu循环系统。

种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积---级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积---级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的ffu循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性---，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能---地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业ffu循环系统逐渐成为1主要的净化设计方案。